作為第三代半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)所必需的關(guān)鍵耗材，石墨托盤長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷。近日，記者從甬江實(shí)驗(yàn)室熱場(chǎng)材料團(tuán)隊(duì)獲悉，該團(tuán)隊(duì)通過(guò)工藝創(chuàng)新，成功制備出耐高溫、耐腐蝕的高純碳化硅涂層托盤。眼下，該成果已實(shí)現(xiàn)初步量產(chǎn)并打入多家知名企業(yè)供應(yīng)體系，為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵部件國(guó)產(chǎn)化奠定了基礎(chǔ)。

揭牌一年來(lái)，甬江實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)機(jī)制、建平臺(tái)、引人才，加速鍛造新材料創(chuàng)新策源力。目前，實(shí)驗(yàn)室已引進(jìn)落地包括熱場(chǎng)材料、新型顯示與感知技術(shù)等在內(nèi)的8支研究團(tuán)隊(duì)、20多名學(xué)術(shù)帶頭人和近百名科研骨干，信息材料與微納器件制備平臺(tái)等多個(gè)高能級(jí)科研平臺(tái)建設(shè)加速推進(jìn)。

人才是實(shí)驗(yàn)室的第一資源。甬江實(shí)驗(yàn)室謀劃制定多元化引才計(jì)劃，首批推出甬江燈塔、領(lǐng)航、舵手、翹楚等多層級(jí)人才計(jì)劃，梯次引進(jìn)戰(zhàn)略科學(xué)家、學(xué)術(shù)帶頭人、科技骨干和青年科研人才。甬江實(shí)驗(yàn)室相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，人才評(píng)審過(guò)程中，他們還邀請(qǐng)政府規(guī)劃部門、產(chǎn)業(yè)界以及學(xué)界專家共同參與，同時(shí)給予人才充分自由來(lái)提出科研設(shè)想，并配套個(gè)性化、適配化資源。目前，實(shí)驗(yàn)室90%以上的科研人才來(lái)自全球頂尖學(xué)府、一流研發(fā)機(jī)構(gòu)。

為支持甬江實(shí)驗(yàn)室發(fā)展，寧波主動(dòng)放權(quán)、全面賦能，給予甬江實(shí)驗(yàn)室“兩個(gè)直接”“三個(gè)自主”等最大的引才用才自主權(quán)。“實(shí)驗(yàn)室提供給高層次科研人才極大科研自由度，對(duì)前沿領(lǐng)域也有前瞻布局，可以大展拳腳。”新型顯示與感知技術(shù)研究團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人說(shuō)。

高質(zhì)量引才離不開高能級(jí)平臺(tái)支撐。圍繞新材料科技前沿和國(guó)家戰(zhàn)略，深入調(diào)研浙江產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展需求，甬江實(shí)驗(yàn)室已布局建設(shè)高分子與復(fù)合材料等7個(gè)研究中心。