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公司基本資料信息
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NS3800三維激光共聚焦顯微鏡
NS-3800是一種精確、可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu)，如半導(dǎo)體晶片，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS設(shè)備，玻璃基板，材料表面等方面擁有*的解決方案。
Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：
高分辨無損傷光學(xué)3D測量 自動傾斜補償
實時共焦成像 簡單的數(shù)據(jù)分析模式
多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測
實時CCD明場和共聚焦成像 無樣品準(zhǔn)備
自動聚焦
Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：
NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。
可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度，寬度，角度，面積和體積，例如
-半導(dǎo)體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測，CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度
- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案
-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分析
Dimension(尺寸）：
Specification (規(guī)格）：
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Model |
Microscope NS-3800 |
備注 |
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物鏡倍率 |
10x |
20x |
50x |
100x |
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觀察/ 測量范圍 |
水平 (H): μm |
1400 |
700 |
280 |
140 |
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垂直 (V): μm |
1050 |
525 |
210 |
105 |
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工作范圍: mm |
16.5 |
3.1 |
0.54 |
0.3 |
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數(shù)值孔徑(N.A.) |
0.30 |
0.46 |
0.80 |
0.95 |
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光學(xué)變焦 |
x1 to x6 |
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總放大倍率 |
178x to 26700x |
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觀察/測量光學(xué)系統(tǒng) |
針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng) |
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高度測量 |
測量掃描范圍 |
Fine scan : 100 μm (and/or) Long scan : 7 mm [NS-3800L] |
注 1 |
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| Fine scan : 400 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800D] | ||||||
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Fine scan : 200 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800T] |
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顯示分辨率 |
0.001 μm |
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重復(fù)率 σ |
0.010 μm |
注 2 |
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寬度測量 |
顯示分辨率 |
0.001 μm |
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重復(fù)率 3σ |
0.02 μm |
注 3 |
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幀記憶 |
像素 |
1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 |
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單色圖像 |
12 bit |
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彩色圖像 |
8-bit for RGB each |
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高度測量 |
16 bit |
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幀速率 |
表面掃描 |
20 Hz to 160 Hz |
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線掃描 |
~8 kHz |
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自動功能 |
自動增益 |
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激光共焦測量光源 |
波長 |
405nm |
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輸出 |
~2mW |
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激光等級 |
Class 3b |
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激光接收元件 |
PMT (光電倍增管) |
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光學(xué)觀察光源 |
燈 |
10W LED |
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光學(xué)觀察照相機(jī) |
成像元件 |
1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器 |
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記錄分辨率 |
640x480 |
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自動調(diào)整 |
增益, 快門速度, White balance |
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數(shù)據(jù)處理單元 |
PC |
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電源 |
電壓 |
100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
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電流 |
500 VA max. |
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重量 |
顯微鏡 |
Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) |
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控制器 |
~8 kg |
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隔振系統(tǒng) |
氣浮隔振系統(tǒng) |
Option |
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注1:精細(xì)掃描由壓電執(zhí)行器（PZT）執(zhí)行。
注2 :以100×/ 0.95物鏡對標(biāo)準(zhǔn)樣品（步長1μm）進(jìn)行100次測量。
注 3 :以100×/ 0.95物鏡對標(biāo)準(zhǔn)樣品（5μm間距）進(jìn)行100次測量。
