生物島實驗室、廣州慧炬科技有限公司申請一項名為“超高真空密封結(jié)構(gòu)及密封方法”的專利,公開號CN119878821A,申請日期為2023年10月。
專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種超高真空密封結(jié)構(gòu)及密封方法,超高真空密封結(jié)構(gòu)包括兩個對接的殼體、金屬密封件;殼體包括對接面以及通孔,兩殼體的對接面之間形成一間隙;金屬密封件置于間隙內(nèi),其包括兩個相對的側(cè)面、以及由其中一個側(cè)面貫穿至另一側(cè)面的連通孔,兩側(cè)面分別朝向兩對接面;側(cè)面上突出的設(shè)置有兩個以上環(huán)繞連通孔設(shè)置的密封環(huán),任意兩密封環(huán)的其中一個落入另一個密封環(huán)內(nèi)部;每一個側(cè)面上至少有兩個密封環(huán)和與該側(cè)面相對的對接面的距離不相等,側(cè)面上至少有一個密封環(huán)和與該側(cè)面相對的對接面壓緊配合。本發(fā)明至少一個密封環(huán)形成的密封結(jié)構(gòu)滿足超高真空密封要求即可,使得整個系統(tǒng)的安裝變得簡單方便,易于加工。