近日，華工科技半導(dǎo)體激光裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室啟動(dòng)儀式在華工激光舉行。聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室是武漢市首批10家聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室之一，以半導(dǎo)體關(guān)鍵制程激光裝備落地應(yīng)用為目標(biāo)，著力攻克產(chǎn)業(yè)重大關(guān)鍵核心技術(shù)，開發(fā)出半導(dǎo)體晶圓激光加工、檢測(cè)裝備等產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵制程激光裝備，并實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用。未來(lái)，聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室將建設(shè)成為全國(guó)一流的半導(dǎo)體激光裝備研發(fā)平臺(tái)，可全方位提升國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體激光裝備的性能與競(jìng)爭(zhēng)力，推動(dòng)武漢激光產(chǎn)業(yè)升級(jí)換代，助力搭建完整的武漢市半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。
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