掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope，SPM)是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的各種新型探針顯微鏡(原子力顯微鏡AFM，激光力顯微鏡LFM，磁力顯微鏡MFM等等)的統(tǒng)稱，是國際上近年發(fā)展起來的表面分析儀器，是綜合運(yùn)用光電子技術(shù)、激光技術(shù)、微弱信號檢測技術(shù)、精密機(jī)械設(shè)計(jì)和加工、自動控制技術(shù)、數(shù)字信號處理技術(shù)、應(yīng)用光學(xué)技術(shù)、計(jì)算機(jī)高速采集和控制及高分辨圖形處理技術(shù)等現(xiàn)代科技成果的光、機(jī)、電一體化的高科技產(chǎn)品。
目前，浙江省計(jì)量院已具備微納幾何結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸的計(jì)量校準(zhǔn)能力，可為半導(dǎo)體企業(yè)、精密加工中心的關(guān)鍵尺寸測量提供量值溯源至國家基準(zhǔn)的途徑，更加全面準(zhǔn)確地為半導(dǎo)體、微電子行業(yè)的納米尺度關(guān)鍵尺寸檢測提供技術(shù)保障。
近年來，浙江省計(jì)量院為了加強(qiáng)質(zhì)量技術(shù)基礎(chǔ)及體系建立，服務(wù)浙江省經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型升級，圍繞“三強(qiáng)一制造”中心工作，不斷在高端裝備、醫(yī)療衛(wèi)生、大氣治理、新材料等領(lǐng)域建立社會公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，滿足新產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域發(fā)展的需要。
編輯點(diǎn)評
最近幾年，浙江省計(jì)量院投入科研經(jīng)費(fèi)9449萬元，完成科研項(xiàng)目236項(xiàng)，其中特別注意結(jié)合正在蓬勃興起的智能制造開展智慧檢測科學(xué)研究，課題多達(dá)20余項(xiàng)，能夠在醫(yī)療、治水、治氣、能源等領(lǐng)域，利用各類自動化手段來實(shí)現(xiàn)自動檢定、校準(zhǔn)、檢測、測試，建立虛實(shí)結(jié)合、線上線下相輔相成的檢驗(yàn)檢測流程，提高檢驗(yàn)效率，降低勞動成本。
