牛津儀器最新推出一款專為TKD分析的樣品座,TKD即透射菊池花樣演示分析(Transmission Kikuchi Diffraction)技術(shù),是最新用于檢測(cè)僅十幾納米尺度的EBSD分析方法,空間分辨率比傳統(tǒng)技術(shù)提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。該樣品座方便用戶將超輕薄樣品放 置于SEM中并符合光學(xué)原理的衍射花樣,保證獲得最佳信號(hào)量。
TKD分析仍使用原有EBSD軟硬件,只是樣品更薄且經(jīng)過電解拋光穿孔。由于衍射信號(hào)來自樣品下側(cè)幾個(gè)或幾十個(gè)納米厚度的區(qū)域,該技術(shù)也被稱為透射 EBSD(T-EBSD)。樣品薄區(qū)的衍射范圍較小,樣品與探測(cè)器及極靴的幾何位置是否理想是獲得有效信號(hào)的必要條件之一。因此設(shè)計(jì)專門的樣品座做TKD 分析就顯得尤關(guān)重要。
EBSD的商務(wù)經(jīng)理,Jenny Goulden博士說:“TKD樣品座是專為超薄樣品設(shè)計(jì),易于固定且符合光學(xué)原理。置于SEM中,即可使用AZtec EBSD系統(tǒng)輕松方便的實(shí)現(xiàn)高分辨的EBSD分析。
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