近日,由山東東營(yíng)市須穎博士團(tuán)隊(duì)研發(fā)的“X射線三維顯微成像檢測(cè)系統(tǒng)研制與應(yīng)用開發(fā)”項(xiàng)目被列入國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng),這也是東營(yíng)首次獲得該專項(xiàng)項(xiàng)目。
據(jù)悉,這一項(xiàng)目自主研發(fā)X射線微焦源、大視場(chǎng)平板探測(cè)器、高分辨率光學(xué)耦合探測(cè)器等核心部件,提出X射線三維顯微成像檢測(cè)系統(tǒng)用于幾何尺寸測(cè)量的精度評(píng)定及量值溯源方法,研發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的微米級(jí)空間分辨率和測(cè)量精度的X射線三維顯微成像檢測(cè)系統(tǒng),綜合性能達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平,可廣泛用于航空航天、地質(zhì)探測(cè)等領(lǐng)域。