美國產(chǎn)Plasma Cleaning System
PE25臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)
        等離子表面處理機(jī)是一種非破壞性的表面處理設(shè)備，它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，在一定真空負(fù)壓的狀態(tài)下，以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性極高的氣體等離子體，氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)的改變，從而達(dá)到對(duì)樣品表面有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗，在極短時(shí)間內(nèi)有機(jī)污染物就被外接真空泵徹底抽走，其清洗能力可以達(dá)到分子級(jí)。在一定條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質(zhì)，所以能有效避免樣品的再次污染。等離子清洗器既能加強(qiáng)樣品的粘附性、相容性和浸潤性，也能對(duì)樣品進(jìn)行消毒和殺菌。等離子清洗器現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。小型等離子清洗機(jī)以體積小、成本低、操作簡便等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于科研及小批量生產(chǎn)場合。

    PE公司成立于1980年，致力于提供電子行業(yè)用的等離子設(shè)備及相關(guān)服務(wù)。通過幾十年的發(fā)展，公司發(fā)展成為提供等離子設(shè)備方面的專家，可為客戶提供專業(yè)的產(chǎn)品和解決方案，先后眾多知名企業(yè)提供等離子處理設(shè)備：美國宇航局NASA, 美國波音Boeing，著名的電子保安系統(tǒng)產(chǎn)品制造商美國霍尼韋爾Honeywell,美國摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer，世界軍用飛機(jī)的領(lǐng)軍企業(yè)美國洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。

PE公司介紹
 

   PE25小型等離子表面處理設(shè)備是專門針對(duì)于大學(xué)，研究機(jī)構(gòu)和工廠研發(fā)設(shè)計(jì)的小批量樣品處理裝置.作為有針對(duì)的設(shè)計(jì)，突出移動(dòng)方便，超高功能和性能，操作方便的使用特性。
 
 
設(shè)備特點(diǎn):
1. 體積小，(寬356mm*高368mm*深457mm)，配備小型真空泵，無需占用很大空間，可以放置在任何實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。
 
2. 性能可靠，“度量”寬大。真空腔體采用T6061經(jīng)過特殊處理的航空鋁合金材料無縫焊接，電極面積達(dá)到89mm*170mm，腔體與電極之間的間隙可到53mm，可以輕松將大部分實(shí)驗(yàn)樣品放入真空腔體內(nèi)。
 
3. 配置靈活，PE25擁有靈活多變的參數(shù)配置組合，能夠滿足使用者的不同需求。除了配置不同的頻率（50KHz，13.56MHz），不同的頻率段，還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統(tǒng)上，也配置了面板控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制，以滿足用戶的使用要求。
 
4. 操作簡便，設(shè)備的安裝非常簡單，工廠還提供詳盡的說明和相應(yīng)的管道等配件。面板的操作部分，在設(shè)計(jì)中做到盡可能簡單和避免誤操作。一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。
 
5. 安全保障：在小型設(shè)備中，唯一引入一鍵急停保護(hù)按鈕，當(dāng)參數(shù)設(shè)置有誤而設(shè)備已經(jīng)啟動(dòng)的時(shí)候，可以快速終止實(shí)驗(yàn)，以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。
 
PE-25參數(shù)：
外部尺寸
W14xH14.5xD18 （356mm*368mm*457mm ）重量：52磅
真空腔材質(zhì)
耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸
5IDx8D （127mm*203mm）
電極尺寸
89*178mm，間隙63mm
等離子發(fā)生器
功率 max.150w（可調(diào)） 
頻率：50KHz（可選配13.56MHz）
供氣
氣體流量控制器  0-25cc/min w/精密針形閥
壓力測量
熱電偶真空計(jì)  0-1Torr
控制器
PLC微電腦控制系統(tǒng)。方案工藝可以進(jìn)行自動(dòng)處理
安全保障
一鍵急停按鈕
電源
220VAC，14A
 
附件（可選件）
抽氣裝置：推薦型號(hào)：5 CFM  2級(jí)  直驅(qū)真空油泵
•氧氣發(fā)生器
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器，0-25cc/min
•100w, 13.56MHz可自動(dòng)調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器
 
  
 
高級(jí)裝置：
•PC /筆記本電腦的控制系統(tǒng)：裝載有等離子蝕刻軟件的一臺(tái)筆記本電腦是包括全自動(dòng)系統(tǒng)操作，
流程排序，多配方存儲(chǔ)，以及其他高級(jí)功能。
•質(zhì)量流量控制器：附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
樣品處理實(shí)例（碳化鎢基底上的DLC涂層去除）

功能：
• 對(duì)金屬、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有機(jī)污染物 （如石蠟、油污、脫膜劑、蛋白等）進(jìn)行超AA清洗。
• 改變某些材料表面的性能。
• 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化，加強(qiáng)這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。
• 清除金屬材料表面的氧化層。
• 對(duì)被清洗物進(jìn)行消毒、殺菌。