廈門分子泵安捷倫分子泵

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來自于鍍膜工藝方面的技術難題
系統(tǒng)的本底壓力在 10-7 mbar的范圍
穩(wěn)定的工藝壓力在 10-3 mbar的范圍
必須具有高氬氣負載能力
大量熱量的產(chǎn)生

來自于環(huán)境以及系統(tǒng)運行中的技術難題
必須保持高產(chǎn)量的客觀事實
濕度及冷凝水
顆粒及混合物
系統(tǒng)整合控制需求
系統(tǒng)自我早期診斷需求
精確的轉(zhuǎn)子設計
溫度的監(jiān)視及控制
內(nèi)置保護裝置 (噴吹/放氣)
工業(yè)級的耐用性外殼設計
內(nèi)置的早期自我診斷系統(tǒng)