COXEM.Beijing Office是韓國(guó)COXEM公司在中國(guó)大陸唯一分支機(jī)構(gòu)，作為COXEM中國(guó)大陸市場(chǎng)直銷平臺(tái)及相應(yīng)全面技術(shù)支撐平臺(tái)，主要經(jīng)營(yíng)酷塞目系列掃描電鏡及相關(guān)附件耗材等業(yè)務(wù)。

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技術(shù)參數(shù)
分辨率：3.5nm (30kV, SE image)
        4.0nm (30kV, BSE image) 可選
放大倍數(shù)：30x~300,000x（WD=5mm）
加速電壓 0.5kV~30kV
電子槍：三級(jí)自給偏壓，預(yù)對(duì)中發(fā)叉式鎢絲陰極，自動(dòng)/手動(dòng)電磁對(duì)中
透鏡系統(tǒng):三級(jí)電磁透鏡
物鏡光闌:4 孔可變光闌，搖擺對(duì)中合軸
圖像電位移和電旋轉(zhuǎn):±20 ? (WD: 5 ㎜)； 0-360°無(wú)限
樣品室:內(nèi)徑φ210mm ，可擴(kuò)展接配EDS,BSE 等探測(cè)器
樣品臺(tái)及行程: 標(biāo)配五軸手動(dòng)機(jī)械對(duì)中樣品臺(tái)
              X: 60 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~50 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°
             可選X、Y 2 軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
最大樣品尺寸：直徑φ160mm ，最大樣品高度50mm
操作系統(tǒng)：PCI、USB 接口的PC 機(jī)控制, 奔騰4 兼容機(jī)，Windows XP, 19 英寸彩色顯示器，圖形用戶界面（GUI），鼠標(biāo)鍵盤(pán)操作
自動(dòng)功能：自動(dòng)電磁對(duì)中，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)亮度對(duì)比度，自動(dòng)消象散
掃描模式：屏幕選區(qū)模式: 320 x 240 像素
          全屏慢掃描模式: 640 x 480 像素 (3 檔速度)
          全屏照相獲取模式 1: 1280 x 960 像素
          全屏照相獲取模式 2: 2560 x 1920 像素
          示波器觀察模式，圖像凍結(jié)
圖像格式：JPG, TIFF, BMP
語(yǔ)言：英語(yǔ)
真空系統(tǒng)：全自動(dòng)渦輪分子泵真空系統(tǒng)，樣品室處真空度優(yōu)于1x10-5 Torr ，渦輪分子泵210L/sec + 旋片式機(jī)械泵100L/min
外形尺寸和重量：主機(jī): 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 310 ㎏
                操作臺(tái): 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏
安裝要求： 電源 AC 220V, 60Hz, 2kVA
           地線 獨(dú)立地線1 條，小于等于100Ω
         溫度 15℃~30℃
           濕度 小于等于70 %
           交流磁場(chǎng) 小于等于0.3 uT
           地面振動(dòng) 5 um/sec Max.
           門(mén)寬 900mm 或更寬