4000A（400nm）植入式柵極氧化固態(tài)劑量計
技術(shù)要求
典型數(shù)值在27°C
氧化層厚度4000A
輻射Vth靈敏度
輻射場= 0.125 MV/cm : 靈敏度= 1.33mV/rad 
輻射場= 0 MV/cm : 靈敏度= 0.463mV/rad 
(靈敏度在 1.5 krad(H2O)，在以下讀寫器的配置中使用一個恒量10µA) 
溫度補償 
TVTC 2.5mV/°C
(該數(shù)據(jù)出自溫度27°C-100°C線性模式中的外推Vtp數(shù)值.) 
線性模式中Z.T.C. 數(shù)值~ -500nA
(Vs=Vb=0, Vds=-0.1) 
飽和模式中Z.T.C.數(shù)值~ -1µA
(使用以下讀寫器電路配置) 
預(yù)輻射劑量計的特點
閾值電壓（外推） -1.0 +/- 0.4V
Vth漂移時間（秒） 2.5mV/十年
(該數(shù)據(jù)出自讀寫器配置強迫40µA) 
氧化層擊穿電壓~280V 
溝道漏電流 Vd=-12, Vg=Vs=Vbulk=0 ~ 25 pA 
亞閾值斜率220 +/- 20 mV/decade 
溝道電阻 Vgs-Vth=5V, Vds=-0.1 ~ 0.75 Mohms 
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