多晶硅太陽能電池板清洗機(jī)
品牌：《南軒電子》設(shè)備用于1-6"硅片的半導(dǎo)體清洗過程中，去除工件表面的油污及其他有機(jī)物、除膠、去金屬離子等。 1.設(shè)備由五大部分組成：清洗槽部分、伺服系統(tǒng)及機(jī)械臂部分、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機(jī)架及整機(jī)。 2.清洗槽部分由有機(jī)溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。 3.關(guān)鍵件采用進(jìn)口件，包括氣動(dòng)閥，PFA管道，全氟循環(huán)系統(tǒng)，保證工作介質(zhì)（酸、堿）的潔凈度，避免雜質(zhì)析出。 4.工藝過程全自動(dòng)，機(jī)械手在槽間的轉(zhuǎn)換由兩套伺服系統(tǒng)控制，可存儲(chǔ)多條工藝時(shí)序，方便使用。 5.人機(jī)界面為觸摸屏，方便直觀。 6.除裝片和取片需人工外，其余工藝動(dòng)作均可自動(dòng)完成，適用于連續(xù)批量生產(chǎn)。 7.工作區(qū)設(shè)凈化裝置，內(nèi)設(shè)高效過濾器，滿足工作區(qū)凈化要求（1000-100級(jí)，10級(jí)為特制） 8.界面中有故障報(bào)警、安全保護(hù)、工藝時(shí)序號(hào)等功能。 （8）主要指標(biāo)： ：18000×1600×2000（長(zhǎng)×寬×高） /2.適用硅片：1-6" /3.裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）/4.工作區(qū)潔凈度：100級(jí) /5.槽間工藝轉(zhuǎn)換時(shí)間：Tmax≤3.5s有需求此方面設(shè)備的朋友，歡迎來電咨詢：馬勝南15010795119，010-52103382。