擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高通量掃描電鏡—領(lǐng)航者是一臺(tái)怎樣的儀器？具有怎樣的水平？又是如何騰空而出的呢？
聚束科技?xì)v經(jīng)磨礪成功地突破了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。領(lǐng)航者首次采用全電子直接探測(cè)器（Direct Electron Detection）技術(shù)，實(shí)現(xiàn)低能量下二次電子（SE）和背散射電子（BSE）的高清視頻級(jí)同步觀測(cè)。目前已經(jīng)交付客戶使用的領(lǐng)航者(Navigator)系列Navigator-100產(chǎn)品，在全球同類高檔產(chǎn)品中屬于性能一流的精品。
圖一.聚束科技在2019年北京分析測(cè)試學(xué)術(shù)報(bào)告會(huì)暨展覽會(huì)展出高通量掃描電鏡
掃描電子顯微鏡是利用收集電子掃描樣品產(chǎn)出電子信號(hào)的成像系統(tǒng)。它通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種信號(hào)，來獲得材料表面的細(xì)節(jié)信息。
領(lǐng)航者電鏡的性能特點(diǎn)鮮明。超高速成像能力達(dá)4至8TB/天，使之具備了跨尺度信息融合能力。超大區(qū)域（100mmX100mm）全息成像模式，保持高分辨率情況下對(duì)樣品進(jìn)行全自動(dòng)無遺漏信息采集，并可繪制成Google地圖式全景信息瀏覽。該系統(tǒng)可對(duì)工程級(jí)材料進(jìn)行整體納米晶粒、成分分布統(tǒng)計(jì)等電鏡微區(qū)分析。視頻級(jí)納米分析能力使掃描電鏡從傳統(tǒng)意義的納米“照相機(jī)”躍變?yōu)榧{米“攝像機(jī)”。在大視野下獲取高分辨率，在1kV加速電壓下可獲得1.8nm、10kV下可獲得1.2nm的分辨能力。
領(lǐng)航者以人為本，操作簡(jiǎn)單。她不僅實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)樣品載入系統(tǒng)，并有超高清全景光學(xué)導(dǎo)航。全球最快的SE加BSE成像速度，比傳統(tǒng)的產(chǎn)品快了10倍以上。7天24小時(shí)自動(dòng)連續(xù)圖像采集，為創(chuàng)建大數(shù)據(jù)提供了可靠的的保障。
圖二.聚束科技產(chǎn)品高通量掃描電鏡領(lǐng)航者系統(tǒng)實(shí)物
高通量掃描電鏡擁有廣泛的應(yīng)用前景。電鏡檢測(cè)技術(shù)可應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、失效分析、工藝制程研究等領(lǐng)域。例如超大體量生物3D重構(gòu)成像、高通量跨尺度材料表征、大規(guī)模樣品缺陷篩查、鍍膜工藝檢測(cè)、平板顯示檢測(cè)、納米顆粒自動(dòng)篩查等。
2017年12月，聚束科技研制生產(chǎn)的首臺(tái)高通量場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡系統(tǒng)——領(lǐng)航者(Navigator)系列產(chǎn)品正式下線，即成為用戶微觀尺度腦神經(jīng)連接圖譜的繪制工具，將高速掃描電鏡成像技術(shù)、序列自動(dòng)采集技術(shù)和實(shí)時(shí)拼接配準(zhǔn)技術(shù)，整合為生物型高通量掃描電鏡三維影像系統(tǒng)。
由于高質(zhì)量電子光學(xué)系統(tǒng)研制生產(chǎn)困難，透鏡內(nèi)探測(cè)器設(shè)計(jì)難度大、低電壓分辨率難以突破，數(shù)十年來我國(guó)科研與工業(yè)部門所用的掃描電鏡嚴(yán)重依賴進(jìn)口。每年我國(guó)花費(fèi)超過1億美元采購的幾百臺(tái)掃描電鏡，主要產(chǎn)自美、日、德和捷克等國(guó)。國(guó)產(chǎn)高通量掃描電鏡的問世，對(duì)打破國(guó)外壟斷，破解卡脖子技術(shù)封鎖，起到重要作用。
聚束科技的年輕團(tuán)隊(duì)本著“勵(lì)志突破全球技術(shù)瓶頸、打造中國(guó)民族電鏡品牌”的情懷，憑著在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中工業(yè)化高通量電鏡檢測(cè)技術(shù)多年的積累和傳承，下決心改變國(guó)內(nèi)高端掃描電鏡系統(tǒng)依靠進(jìn)口的現(xiàn)狀。聚束科技有信心持續(xù)創(chuàng)新，夯實(shí)基礎(chǔ)，奉獻(xiàn)先進(jìn)的產(chǎn)品，為中國(guó)乃至全球提供一套全新的電鏡解決方案，助力科研和制造業(yè)，提供不可或缺的工具。
