JEOL已經(jīng)完成了JPS 9030 X射線光電子能譜儀的開發(fā)，并于2015年4月10日開始銷售。
近年來(lái)，對(duì)于高質(zhì)量、快速、操作簡(jiǎn)單的表面分析儀器，以及對(duì)任何水平的用戶和任何種類的樣品都可實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性分析的表面分析儀器的需求越來(lái)越多。JPS-9030采用了新設(shè)計(jì)的用戶操作界面，能夠進(jìn)一步提升可操作性，并采用了巧妙的、新的現(xiàn)代化的時(shí)尚外觀設(shè)計(jì)。
JPS-9030采用新開發(fā)的Kaufman型蝕刻離子源可提供的蝕刻速率為1納米/分鐘至100納米/分鐘(SiO2)，并允許寬范圍的設(shè)置。它能夠適用于任何應(yīng)用的剖面分析，從要求精度的分析到需要速度的分析。
JPS-9030利用新開發(fā)的軟件使得操作更加簡(jiǎn)便。SpecSurf Ver. 2.0現(xiàn)在采用了帶狀式的圖形用戶界面，在一個(gè)用戶友好環(huán)境中，所有操作都只需動(dòng)動(dòng)鼠標(biāo)就能完成。利用日本電子公司自有的自動(dòng)定性分析功能，對(duì)多個(gè)采樣點(diǎn)能夠依次進(jìn)行定性，定量和化學(xué)態(tài)分析。
JPS-9030支持如角分辨XPS(ARXPS)和全反射XPS(TRXPS)技術(shù)，并且能夠?qū)Ρ韺?nm深度進(jìn)行超靈敏分析(標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法為6nm以上)。
JPS-9030的銷售量目標(biāo)為每年20臺(tái)。
