仕富梅全新的SERVOPRO NanoChrome 超痕量氣體分析儀 徹底改變了半導體行業(yè)中的超高純氣體分析

　　通過引進最先進的氣體傳感技術和信號處理方法, 仕富梅新的SERVOPRO NanoChrome徹底改變了超高純氣體的超痕量純度測量。

　　專為半導體生產(chǎn)中處于超痕量水平的雜質(zhì)氣體和烴類測量而設計，NanoChrome在一定范圍的常見背景氣體包括氦氣，氫氣，氮氣，氬氣和氧氣的存在下，可以對氫氣，甲烷，一氧化碳，二氧化碳和非甲烷烴類提供良好穩(wěn)定的sub-ppb級測量。其結果是分析儀不僅提供優(yōu)于傳統(tǒng)火焰點火檢測器(FID)和還原氣體檢測(RGD)技術的眾多測量和性能優(yōu)勢，而且提供實際性的成本和安全效益，是依靠氣體最高純度維持產(chǎn)品質(zhì)量的客戶先前無法達到的。

　　卓越的NanoChrome采用由仕富梅特別開發(fā)的一種創(chuàng)新高靈敏度的等離子體發(fā)射探測器(PED)從而能夠提供超低檢測限度。已通過氬氣和氮氣的超痕量測量測試，擴展的測量波長使測量H2, CH4, CO 以及CO2以及直鏈烴的測量無需甲烷轉化器。由于無需可燃氣體，仕富梅PED傳感器增加了安全性，同時降低了運營成本。

　　NanoChrome利用先進的信號復蘇技術增強了分析靈敏度和可靠性，采用專門研制的可調(diào)色譜濾波方法和ProPeak色譜峰檢測技術，來進行比先前超高純氣體更敏感的和更具有選擇性的測量。仕富梅的直接分析方法，使得對FID和RGD測量特殊精度的疑慮煙消云散。

　　結合ServomexDF - 500超痕量分析儀系列和DF- 700微量水分析儀系列，仕富梅現(xiàn)在能為半導體行業(yè)提供單一、完整的可靠超高純氣體分析解決方案, 支持全球網(wǎng)絡銷售、服務和維護,仕富梅是目前唯一為所有超高純氣體純度測量提供完整解決方案的氣體分析制造商。

　　仕富梅集團有限公司董事Chuck Hurley指出，“SERVOPRO NanoChrome是對超高純氣體雜質(zhì)測量的重大突破，因為仕富梅運用全新的方法應對超高純氣體客戶的需求：通過單一分析儀提供更靈活、準確、可靠的測量，從而提供即時的性能、成本和安全效益,”。

　　“一旦了解用戶的真正需求，仕富梅研發(fā)團隊就采用了一種全新的方法開發(fā)超高純氣體傳感技術。他們不僅徹底改進了PED傳感技術，而且在創(chuàng)新ProPeak處理技術過程中，我們開發(fā)了新方法來解釋和處理數(shù)據(jù)。使超高純氣體分析有了真正的飛躍—我們確定這將對半導體行業(yè)產(chǎn)生積極的影響。”