為進一步的擴大和促進研究能力，美國中西部納米電子研發(fā)中心（MIND）采購了牛津儀器公司等離子技術部的等離子蝕刻和沉積兩套設備。該FlexALâ原子沉積(ALD)和System100 ICP等離子蝕刻設備將安裝在Notre Dame的納米加工設施里，位于美國印第安納州Notre Dame大學校園里工程學斯廷森-雷米克廳的9000平方英尺的無塵室。
FlexAL設備為工程納米結構器件提高了靈活性和能力，其方法是通過提供一個包含遠程等離子ALD制程和thermal ALD的獨立平臺。System100 ICP等離子蝕刻設備的特點在于使用新的Cobra離子源，即：給用戶提供了額外的等離子控制功能，從而為此先進工藝提供了更強的靈活性。
MIND是由半導體研究公司納米電子學研究所 (NRI)主辦的四個中心之一。MIND還與美國國家標準與技術研究所、Argonne國家實驗室，國家強磁場實驗室有著合作。
美國中西部納米電子研發(fā)中心（MIND）的Alan Seabaugh教授和董事長Frank M. Freimann提到："納米電子學研究中心的目標是研發(fā)并且發(fā)展能超越傳統(tǒng)設備性能的下一代納米級別邏輯器件，并使其成為能廣泛應用于未來的電腦里面。在Notre Dame大學，我們選擇了牛津儀器公司的設備，以促進這項工作。因為牛津儀器公司具有先進技術，設備的通用性和成本效益給研發(fā)工作帶來貢獻。"
牛津儀器公司美國銷售副總裁Stuart Mitchell說， "我們公司的目標是追求負責任地發(fā)展以及通過科學和技術對世界更深入地了解，多年以來我們一直是多著名美國研究機構的主要供應商。這個等離子蝕刻和沉積系統(tǒng)的訂單讓我們成為制造業(yè)領先的供應商，并加強了我們在美國科研界作為重要供應商的聲譽。"
