產(chǎn)品介紹
薄膜制備及特性測(cè)量系列教學(xué)實(shí)驗(yàn)儀器是北京科技大學(xué)應(yīng)用科學(xué)學(xué)院物理系教師將科研儀器向教學(xué)儀器轉(zhuǎn)化的成果，適用于高等院校教學(xué)實(shí)驗(yàn)用，是集科研、演示、教學(xué)于一體的多功能實(shí)驗(yàn)儀器，是國(guó)家專利產(chǎn)品，并在國(guó)內(nèi)首次被應(yīng)用于大學(xué)工科物理和理科物理實(shí)驗(yàn)教學(xué)。本系列實(shí)驗(yàn)儀器既適用于實(shí)驗(yàn)教學(xué)也可用于科研開(kāi)發(fā)。特別是在物理實(shí)驗(yàn)教學(xué)上，用其編排的實(shí)驗(yàn)內(nèi)容豐富新穎、適用面廣、擴(kuò)展性強(qiáng)。使學(xué)生親身感受到物理實(shí)驗(yàn)在當(dāng)今高科技中的應(yīng)用，同時(shí)培養(yǎng)學(xué)生的科學(xué)素質(zhì)和實(shí)驗(yàn)技能。
本實(shí)驗(yàn)儀器和實(shí)驗(yàn)內(nèi)容已通過(guò)國(guó)家工科基礎(chǔ)教程教學(xué)基地驗(yàn)收并受到專家們的一致好評(píng)；并通過(guò)了教育部科學(xué)技術(shù)成果鑒定，在2004年在第三屆全國(guó)高校物理實(shí)驗(yàn)教學(xué)儀器評(píng)比中榮獲一等獎(jiǎng)。
薄膜生長(zhǎng)過(guò)程原位動(dòng)態(tài)特性監(jiān)測(cè)教學(xué)實(shí)驗(yàn)裝置
薄膜生長(zhǎng)過(guò)程原位動(dòng)態(tài)特性監(jiān)測(cè)儀采用只留濺射法制備薄膜，在鍍膜過(guò)程中通過(guò)對(duì)薄膜電阻的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)，觀察薄膜生長(zhǎng)的物理過(guò)程。可以在背景真空度約2Pa左右的條件下，完成離子濺射鍍膜及金屬薄膜生長(zhǎng)過(guò)程原位動(dòng)態(tài)特性的監(jiān)測(cè)實(shí)驗(yàn)。還可作為掃描電鏡樣品鍍膜及金屬電極鍍膜基本設(shè)備。同時(shí)，若適用在襯底基片上預(yù)先鍍制的低電阻測(cè)量四接頭電極并接通恒流源，便可利用數(shù)字電表在鍍膜過(guò)程中，瞬態(tài)、原位測(cè)量薄膜的導(dǎo)通電壓、電阻阻值隨沉積時(shí)間的變化規(guī)律，或通過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行檢測(cè)信號(hào)的自動(dòng)采樣、瞬態(tài)監(jiān)測(cè)于數(shù)據(jù)處理。由實(shí)驗(yàn)結(jié)果可以清楚地觀察到薄膜形成過(guò)程中，隨著薄膜成核、網(wǎng)狀導(dǎo)通、薄膜厚度的增加等變化，其電壓和電阻值與沉積時(shí)間的關(guān)系，通過(guò)宏觀物理量的變化反映出微觀薄膜物理性能與薄膜生長(zhǎng)過(guò)程的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
該儀器具有體積小、實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象明顯直觀、操作簡(jiǎn)單方便、性能穩(wěn)定、實(shí)驗(yàn)周期短等特點(diǎn)，做到了鍍膜儀器的低成本化，集教學(xué)科研為一體。
用途：
（1） 動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)濺射鍍膜過(guò)程中基片上兩電極間電壓變化（反映出薄膜生長(zhǎng)的規(guī)律）；
（2） 動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)金屬薄膜電阻隨鍍膜時(shí)間的變化；
（3） 制備金屬薄膜（如金銀薄膜等）；
（4） 制作掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜；
儀器組成：
薄膜生長(zhǎng)過(guò)程原位動(dòng)態(tài)特性監(jiān)測(cè)教學(xué)實(shí)驗(yàn)裝置由真空鍍膜設(shè)備、精密直流電源及直流數(shù)字電壓表和直流數(shù)字電流表三部分組成。
1、 真空鍍膜設(shè)備（包括直流濺射儀、機(jī)械泵）
由真空控制（真空度約2Pa左右）、離子濺射及測(cè)量三部分組成。
2、 精密直流電源
輸出電壓0~30V、輸出電流0~2A在范圍內(nèi)可調(diào)。
3、 直流數(shù)字電壓表及直流數(shù)字電流表