空氣壓力控制式主動(dòng)隔振系統(tǒng)MAPS系列 

小型卻可以除去全自由度方向的振動(dòng)
明立精機(jī)MAPS系列的主動(dòng)隔振系統(tǒng)是將垂直用和水平用的氣壓?jiǎn)?dòng)器集結(jié)到小型單體的組合式模型。同時(shí)使用4個(gè)同樣單體便可以對(duì)全自由度方向的振動(dòng)發(fā)揮出優(yōu)越的隔振性能，制振性能及定位性能。

可以除去被動(dòng)隔振所無(wú)法除去的頻帶域上的振動(dòng)
被動(dòng)隔振常常會(huì)遇到由系統(tǒng)固有振動(dòng)所引起的共振問(wèn)題。主動(dòng)隔振除了可以消除共振現(xiàn)象以外，還可以除去在此頻帶域上的振動(dòng)。例如，對(duì)于被動(dòng)隔振所不太在行的 2Hz附近低頻振動(dòng)，主動(dòng)隔振可以將振動(dòng)減小至被動(dòng)隔振的1/30至1/100。

標(biāo)準(zhǔn)MAPS可以為10噸以上的承載裝置隔振
近來(lái)隨著機(jī)能的充實(shí)，精密器械越來(lái)越趨向于大型化。總重量超過(guò)10噸以上的裝置已經(jīng)被開(kāi)發(fā)出來(lái)了。裝置的大型化導(dǎo)致固有頻率的降低，從而使至今幾乎沒(méi)成為問(wèn)題的低頻振動(dòng)也會(huì)成為問(wèn)題。這也是為什么精密器械需要低頻隔振性能優(yōu)越的主動(dòng)隔振系統(tǒng)的理由之一。

承載運(yùn)轉(zhuǎn)載物臺(tái)也不會(huì)有振動(dòng)
在由柔軟彈性體支撐而實(shí)現(xiàn)隔振效果的被動(dòng)隔振裝置上放上X-Y載物臺(tái)等運(yùn)轉(zhuǎn)裝置時(shí)，整個(gè)系統(tǒng)會(huì)產(chǎn)生較大的搖動(dòng)反而會(huì)使振動(dòng)加大。主動(dòng)隔振是通過(guò)反饋控制使裝置保持靜止?fàn)顟B(tài)而達(dá)到減振的目的。另外，事先根據(jù)載物臺(tái)運(yùn)轉(zhuǎn)的信號(hào)輸出，通過(guò)輸入將振動(dòng)抑制到最小的反饋控制，便可以實(shí)現(xiàn)幾乎沒(méi)有振動(dòng)的環(huán)境。

MAPS在定位精度及保持水平精度方面也很優(yōu)越
裝置越大，傾斜就越成問(wèn)題。由于裝置自身很重，傾斜會(huì)帶來(lái)由自重而引起的彎曲從而對(duì)精度產(chǎn)生極大的影響。MAPS也將水平精度調(diào)節(jié)包含在控制過(guò)程，從而防止了傾斜且保證了水平精度。另外，MAPS在定位精度方面的控制可以使芯片或液晶板的交接得以順利實(shí)施。

MAPS是小型且易使用的組合體
MAPS系列是為了方便與承載裝置組合而將所需的全部功能集結(jié)至小型組合體的隔振裝置。只要為MAPS的安裝確保所需的空間，你便可以得到所需的隔振效果。MAPS系列的控制系統(tǒng)非常安定。它不僅可以使用于公司內(nèi)部設(shè)備的使用，而且可以安心地用于銷售給客戶的產(chǎn)品之中。

MAPS是構(gòu)成精密器械的重要部分之一
至今，大多客戶是由于擔(dān)心振動(dòng)而使用隔振裝置的?？墒请S著精密器械高精度化，高功能化和大型化的進(jìn)展，若不使用隔振裝置來(lái)消隔振動(dòng)的影響的話，精密器械就不能按照產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)上寫(xiě)的那樣正常地發(fā)揮其性能。因此，隔振裝置不止是精密器械的附帶裝置，而且是構(gòu)成精密器械及發(fā)揮精密器械性能的不可缺少的重要組成部分。

在裝置開(kāi)發(fā)開(kāi)始時(shí)就請(qǐng)與我們聯(lián)系
MAPS將隔振所需要的功能全部集結(jié)至小型組合體。因此，不需要象從前那樣地為安裝隔振裝置而保留很大的空間。當(dāng)然，MAPS在裝置開(kāi)發(fā)后也可以進(jìn)行安裝，但會(huì)有很多限制條件產(chǎn)生。無(wú)論從隔振性能或費(fèi)用來(lái)講，裝置開(kāi)發(fā)后的安裝并不是最佳方案。在裝置開(kāi)發(fā)階段就應(yīng)以MAPS裝入進(jìn)去的狀態(tài)進(jìn)行臺(tái)架及框架的設(shè)計(jì)。這樣不僅可以有效地利用空間也可以將MAPS安裝在使隔振性能達(dá)到最佳的有利位置。
因此，在開(kāi)始設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)精密器械時(shí)就將MAPS的安裝也同時(shí)考慮在內(nèi)的話，便可以使振動(dòng)環(huán)境達(dá)到更優(yōu)化的狀態(tài)。 

MAPS系列標(biāo)準(zhǔn)型的主要規(guī)格
型號(hào) MAPS-008 MAPS-016 MAPS-033 MAPS-065 MAPS-130 MAPS-240 
可乘載的重量 [kN]
([kgf]) 4 - 8
(400 - 800) 8 - 16
(800 - 1600) 16 - 33
(1600 - 3400) 33 - 65
(3400 - 6600) 65 - 130
(6600 - 13300) 130 - 240
(13300 - 24500) 
機(jī)體尺寸 WxDxH [mm] 235x235x130 295x295x140 350x350x150 450x450x190 600x480x190 700x600x267 
1個(gè)組裝體的機(jī)體重量 [kg] 13 42 63 110 180 230 
供給空氣壓 [MPa] 0.6 - 0.8 
穩(wěn)態(tài)空氣消費(fèi)量 [l/min] 45 - 65 120 - 170 
最大空氣消費(fèi)量 [l/min] 120 300 
電源電壓 [V] 100 - 240 (AC, 50/60Hz) 
額定消費(fèi)電力 [W] 400 450 
定位精度 [mm] 0.001 - 0.050 
控制軸數(shù)量 <=6