反滲透（膜分離）技術(shù)的應(yīng)用使超純水制備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器、混合 近年來開始在國外推廣應(yīng)用的EDI（電去離子）技術(shù)，則是超純水制造技術(shù)的一次革命，從此進入了一個無需再生化學品，而能生產(chǎn)出高達18MΩ•CM的超純水，用于半導體、集成電路等行業(yè)。