基于25年涂鍍層測(cè)量經(jīng)驗(yàn)，在CMI900系列測(cè)厚儀的堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)上，引進(jìn)全新的設(shè)計(jì)：
· 新100瓦X射線管 - 市場(chǎng)上所能提供的最強(qiáng)大的X射線管。提高30%測(cè)量精度，同時(shí)減少50%測(cè)量時(shí)間
· 更小的X射線光斑尺寸 - 新增15mil直徑準(zhǔn)直器，可測(cè)量電子器件上更小的部位。提供改進(jìn)的CCD攝像頭及縮放裝置，同時(shí)提供更高精度的Y軸控制。
· 距離獨(dú)立測(cè)量（DIM） - 更靈活地特殊形狀樣品，可在DIM范圍內(nèi)12.5-90mm（0.5-3.5inch）對(duì)樣品表面進(jìn)行測(cè)量，Z軸可控制范圍為230mm（9inch）。可通過(guò)手動(dòng)調(diào)整也可以通過(guò)自動(dòng)鐳射聚焦來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的精確對(duì)準(zhǔn)。
· 自動(dòng)鐳射聚焦 - 自動(dòng)尋找振決的聚焦距離，改善DIM的聚焦過(guò)程并提高系統(tǒng)測(cè)量再現(xiàn)性。也可選擇標(biāo)準(zhǔn)的鐳射聚焦模式。
· 全新的大型樣品室 - 更大的開(kāi)槽式樣品室（580x510x230mm : 23x20x9inch）,開(kāi)槽式設(shè)計(jì)可容納超大尺寸的樣品。可從各個(gè)方向簡(jiǎn)便的裝載和觀察樣品。
· 3種樣品臺(tái)選項(xiàng) - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移動(dòng)范圍)/XY手動(dòng)控制（250x250mm或10x10英寸）/固定樣品臺(tái)；標(biāo)準(zhǔn)配置Z軸程控控制(230mm或9inch移動(dòng)范圍)。
· 內(nèi)置PC用戶(hù)界面