使用范圍：

對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：

單晶片洗凈轉載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。

對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：

激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等。

其他產業(yè)用機器發(fā)熱部分的冷卻：

等離子熔接、自動包裝機、模具冷卻、洗凈機械、鍍金槽、精密研磨機、射出成型機、樹脂成型機的成型部分等。

分析檢測機器的發(fā)熱部分的冷卻：

    電子顯微鏡的光源、ICP發(fā)光分光分析裝置的光源部分、分光光度計的發(fā)熱部分、X線解析裝置的熱源、自動脈沖調幅器的發(fā)熱部分原子吸光光度計的光源等。

產品概述

l 節(jié)省水資源，可以使用水兌乙二醇混合液進行循環(huán)制冷，節(jié)約資源；嚴密的循環(huán)管路設計，防止循環(huán)水污染，延長循環(huán)水的使用時間；

l 高性能循環(huán)泵，可保證每天連續(xù)24小時運行；

l PID 溫控技術，內置PT100傳感器航空插件，保證了溫度控制的精確性；

l 成熟的無氟制冷技術；

l 具有自我診斷功能；冷凍機過載保護；高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能；