整機結(jié)構(gòu)組成 :機臺、操作臺面、槽體、機械臂、藥液溫度控制系統(tǒng)、CDS自動配酸系統(tǒng)、沉淀儲酸系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、排風、電氣控制系統(tǒng)等組成。
2）槽體包括：蝕刻槽，QDR槽，烘干槽，儲酸槽，混酸槽。
3）可清洗的工件尺寸：≤1900*2200mm
4）可清洗的工件批量：20片/每批
5）設(shè)備配置PFA材料的水氣槍各兩把。