HNO3+H3PO4+CH3COOH
 槽體材質(zhì)： PP，循環(huán)槽結(jié)構(gòu)，      防漏槽材質(zhì)：PP；
 清洗批量：2提籃/批次；
 清洗藥液：HNO3+H3PO4+CH3COOH；
 清洗時(shí)間設(shè)定：0~9999sec；
 溫度：50℃，溫度控制精度±1℃；
 加熱器：PFA在線(xiàn)加熱器，3KW；
 溫度控制方式：歐姆龍溫度控制器+電力調(diào)整器；
循環(huán)系統(tǒng)：PP磁力泵，15L/min，藥液接觸部分為PP材料；
藥液供給：手動(dòng)桶裝供給，直接供給到處理槽；
藥液更換模式：可設(shè)定為清洗時(shí)間模式、清洗片盒計(jì)數(shù)模式，到期設(shè)備自動(dòng)提醒；
 處理槽液面控制：使用N2液位，具有報(bào)警功能，內(nèi)槽檢測(cè)下限及定量，外槽檢測(cè)上限和下限。
 管路閥門(mén)：使用氣動(dòng)閥門(mén)；
 槽體蓋子：自動(dòng)，PTFE材質(zhì)，采用氣缸控制蓋子翻轉(zhuǎn)；
 排氣：共用排氣管路，材料為PP，配置連接法蘭、風(fēng)壓檢測(cè)及調(diào)節(jié)閥門(mén)，尺寸為200A，接口在設(shè)備的上部