處理對象：Ф2”、 Ф3”、 Ф4”、 Ф6”晶片；
 藥液處理槽批量：配備專用裝卸提籃（PTFE材質(zhì)）12個，兼容Ф2”、 Ф3”、 Ф4”、 Ф6”、Ф8”標(biāo)準(zhǔn)花籃，其中Ф2”、 Ф3”、 Ф4”晶片一次清洗不少于100片，Ф6” 晶片一次清洗不少于50片，按照標(biāo)準(zhǔn)片盒（每盒25片）設(shè)計。
鋁刻蝕設(shè)備
1. 設(shè)  備 名:    鋁刻蝕
上料花籃 :  手動

2. 機(jī)器尺寸:
1200 (W) x 1200 (L) x 1920 (H)

3. 硅片尺寸:  Φ6英寸
處 理 量:    25 片 x 2 盒
花    籃:    Entergris  A-182-60MB  ( ASMC提供)
提手型號:    A72-60-03*            (ASMC提供)   

4. 設(shè)備結(jié)構(gòu)
4.1 架子(SUS + FM-PVC)-------- 1 set
4.2 清洗槽( chemical )  ---------- 1 set
4.3 清洗槽 (DIW )  ------ ---- 1 set
4.4 槽    蓋   ------ ---- 1 set
4.5 搖動系統(tǒng)   ------ ---- 1 set
4.6 管路系統(tǒng)   ---------- 1 set
4.7 控制面板         ------ ---- 1 set
加熱傳感器       ------- ----1set