本設(shè)備用于硅材料行業(yè)中，對(duì)小尺寸硅料進(jìn)行腐蝕清洗、烘干。設(shè)備共由以下功能單元組成
 對(duì)為檢驗(yàn)多晶硅棒產(chǎn)品質(zhì)量所制備的多晶片、塊樣及單晶棒試樣進(jìn)行清洗、烘干，具有較快的清洗速度和較高的清洗質(zhì)量，清洗的硅塊尺寸最大為Φ140×50（mm）或Φ40×200（mm）。
 進(jìn)出料、腐蝕、清洗、烘干為人工操作，配酸、補(bǔ)酸能夠自動(dòng)完成，并能設(shè)定各工序時(shí)間。確保設(shè)備材料耐強(qiáng)酸腐蝕（HF+HNO3）。
整個(gè)腐蝕清洗臺(tái)的工作環(huán)境潔凈度達(dá)到100級(jí)