本設(shè)備適用于LED外延片去光阻清洗工序。；
設(shè)備型號：CSE-SLXJ23;
花籃：圓形2″花籃，25片/籃，1籃/批；
傳送方式：人工傳送；
主要材料：德國進(jìn)口10mm瓷白PP板機(jī)殼，優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐；
DIW管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口clean-PVC管材，需滿足18M去離子水水質(zhì)要求，酸堿管路材質(zhì)為進(jìn)口PFA/PVDF；
采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工，焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成