功能及用途說明：主要用于（1）利用強(qiáng)酸氫氟酸，磷酸，硝酸，鹽酸，冰醋酸等及其酸混合物對金屬的溶解或者氧化還原反應(yīng)過程，實(shí)現(xiàn)金屬膜的圖案化；（2）通過剝離液和光刻膠的化學(xué)反應(yīng)，使光刻膠膨脹軟化并溶解；（3）處理完后基片清洗與干燥?；竟δ埽簩?shí)現(xiàn)低溫多晶硅工藝中ITO,Al,Cr,Mo,SiO2,IGZO等膜的圖案化和光刻膠的剝離以及接下來玻璃基板清洗干燥。

玻璃鍍膜前清洗設(shè)備
主要用于：低溫多晶硅玻璃鍍膜前清洗，去除玻璃表面有機(jī)油污，顆粒等，提高基板表面的浸潤性。
基本功能：將花籃盒內(nèi)的玻璃基板，經(jīng)過上料裝置一片一片傳送出去，由傳送裝置傳遞，經(jīng)過洗劑噴淋、輪刷刷洗、純水高壓噴淋、超聲波清洗后至風(fēng)干工藝和UV清洗艙后，最后由下料裝置將基板裝入花籃盒。