功能描述：主要是將感光部分的光刻膠溶除，留下未感光的部分的膠膜，從而顯示所需要的圖形。（我司設(shè)備均為非標(biāo)產(chǎn)品，根據(jù)客戶要求訂制）
樣品設(shè)備描述：
1. 可顯影玻璃基板尺寸：1900 mm× 2200 mm，厚度為0.3—1.1 mm；
2. 具有封閉的顯影工作腔。配備排風(fēng)系統(tǒng)，避免所用藥液揮發(fā)對(duì)使用人員和環(huán)境造成危害；
5. 顯影液、定影液采用浸潤(rùn)式(puddle)與光刻膠反應(yīng)。同時(shí)設(shè)備還需具備噴淋式(spray)顯影的能力。浸潤(rùn)式與噴淋式兩種顯影模式可以相互切換使用，切換過程簡(jiǎn)單可行。
6. 顯影系統(tǒng)：設(shè)備配備兩路顯影液供給系統(tǒng)?？梢杂糜诓煌饪棠z的顯影。并能保證這兩路顯影系統(tǒng)能夠交替使用；
7. 定影系統(tǒng)：設(shè)備配備兩路定影供給系統(tǒng)。其中一路定影液供給系統(tǒng)提供Di-Water。另一路定影液供給系統(tǒng)用于提供專用定影液，配備有SUS316L的不銹鋼壓力罐以及適用于有機(jī)溶劑的管路，用于儲(chǔ)存和配送定影液
12. 對(duì)于顯影液，具有恒溫保護(hù)功能，溫度控制分辨率達(dá)到1 ℃，控溫精度達(dá)到±1 ℃。
13. 具備噴液噴液時(shí)間0.1-999.9 s 可連續(xù)調(diào)解，調(diào)節(jié)精度為0.1 s；
14. 設(shè)備具有防濺、廢液收集功能。如果采用容器收集廢液需配備液面監(jiān)測(cè)器；
15. 清洗維護(hù)：提供實(shí)用且簡(jiǎn)單易行的顯影腔室清洗方案。