DektakXT在設(shè)計上的幾個提高，使其在測量臺階高度重復(fù)性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn)，臺階高度重復(fù)性可以到達(dá)5Å.使用single-arch結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計更堅硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。同時，Bruker還對儀器的智能化電子器件進(jìn)行完善，提高其穩(wěn)定性，降低溫度變化對它的影響，并采用先進(jìn)的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用這些靈敏的電子元器件,會把可能引起誤差的噪音降到最低，DektakXT的系統(tǒng)因此可以更穩(wěn)定可靠的實現(xiàn)對高度小于10nm的臺階的掃描。Single-arch結(jié)構(gòu)和智能器件的聯(lián)用，大大降低了掃描臺的噪音，增強了穩(wěn)定性，使其成為一個極具競爭力的臺階儀